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FS-70
378系列-半導體檢測用顯微鏡
日本三豐品牌 MITUTOYO 378-187-4 顯微鏡
特點：
1、此光學系統*初是為了暢銷的FS60型（后升級為FS70型）而開發的。它作為測量檢測半導體器件的顯微鏡是很理想的。
2、FS70L支持3種YAG激光波長（1064nm,532nm,355nm），FS70L4支持2種波長（532nm,266nm），可在半導體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術。這就擴大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微鏡的激光系統的性能和**性，三豐公司不負責任。我們推薦在選購激光發射器時應仔細檢查。
3、FS70Z的標準功能有：亮視場，微分干涉對比（DIC）和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。
4、使用內置式轉換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
5、極易操作的設計：FS70采用正像光學系統（視場中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調手輪。
技術參數：
對焦
方法：有同心粗調和微調手輪（左和右）
范圍：50mm測量范圍，微調0.1mm/rev.同心，粗調3.8mm/rev.
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調節范圍：51-76mm
視場數：24
俯角：0°-20°（僅用于-TH，-THS型號）
照明系統：亮視場反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）
光源：12V100W光纖、無極亮度調節，光導長度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
性能參數：
|
型號 |
FS70 |
FS70-TH |
FS70Z |
FS70Z-TH |
FS70L |
FS70-TH |
FS70L4 |
FS70L4-TH |
|
貨號 |
378-184-1 |
378-184-3 |
378-185-1 |
378-185-3 |
378-186-1 |
378-186-3 |
378-187-1 |
378-187-3 |
|
短基座型號 |
FS70-S |
FS70-THS |
FS70Z-S |
FS70Z-THS |
FS70L-S |
FS70L-THS |
FS70L4-S |
FS70L4-THS |
|
貨號 |
378-184-2 |
378-184-4 |
378-185-2 |
378-185-4 |
378-186-2 |
378-186-4 |
378-187-2 |
378-187-4 |
|
對焦 |
50mm行程，同心焦距粗調（3.8mm/rev）和微調（0.1mm/rev）輪（左、右） |
|||||||
|
圖像 |
正像 |
|||||||
|
瞳距 |
Siedentopf型，調節范圍:51-76mm |
|||||||
|
視場數 |
24 |
|||||||
|
俯角 |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
|
透過率 |
50/50 |
100/0或 0/100 |
50/50 |
100/0或 0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
||
|
保護性濾光片 |
—— |
—— |
內置激光射線濾光片 |
內置激光射線濾光片 |
||||
|
光管鏡頭 |
1X |
1X-2X焦距型 |
1X |
1X |
||||
|
適用激光 |
—— |
—— |
1064/532/355mm |
532/266mm |
||||
|
相機端口 |
C-mount （使用適配器B選件） |
使用帶有電視端口的激光器 |
C-mount插座（帶有綠色濾光片轉換開關） |
|||||
|
照明系統（選件） |
亮視場反身照明（科勒照明、帶孔徑光闌） 12V 100W光纖、無極亮度調節、光導長度：1.5m,功耗150W |
|||||||
|
物鏡選件（用于觀察） |
M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
|
|||||||
|
物鏡選件（用于激光切割） |
—— |
M/LCD Plan NIR M/LCD Plan NU |
M Plan UV |
|||||
|
載重* |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
14.2kg |
13.5kg |
13.9kg |
13.1kg |
|
重量（主機） |
6.1kg |
7.1kg |
14.1kg |
7.5kg |
6.4kg |
7.2kg |
6.7kg |
7.5kg |
*光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
